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(とうきょう-、英: Tokyo Electron Limited)は、東京都港区赤坂に本社を置く、半導体製造装置およびフラットパネルディスプレイ製造装置をビジネスとする会社である。東京証券取引所一部上場。
子会社の東京エレクトロンAT、東京エレクトロン九州、東京エレクトロンソフトウェア・テクノロジーズなどが開発・製造する半導体製造装置およびフラットパネルディスプレイ製造装置のシェアは、日本で第1位、世界で第2位である。2つの文化施設の命名権を取得している。
なお、ハンドドライヤー(エアータオル)を製造する同名の会社(本社・東京都多摩市)も存在するが、関連は一切ない。
・半導体製造装置
コータ/デベロッパ-半導体を製造する際に、フォトリソグラフィープロセスにおいて感光剤の塗布と現像を行う装置。
サーマルプロセスシステム(熱処理成膜装置)-トランジスタの絶縁膜をつくるための製造装置。半導体製造において、トランジスタの性能向上を図るために、短時間で高温での熱処理が必要とされている。
・エッチング装置
サーフェス・プレパレーション装置-半導体製造過程において、チリ、ほこり等の不純物を洗浄するための装置。
・フラットパネルディスプレイ製造装置
FPDコータ/デベロッパ
エッチング/アッシング装置
山梨県と宮城県を拠点とする東京エレクトロングループの企業。
東京エレクトロンの業務内容のうちSiやLCDなどのエッチング部門を独立する形で設立された。
現在の拠点は山梨県韮崎市であるが、近年は段階的に宮城県宮城郡松島町へ移転させており、2010年には東北自動車道・泉ICからほど近い宮城県黒川郡大和町小野地区の「大和リサーチパーク」内に移転し、新工場が稼動するため山梨側より700人の従業員と30社の関連会社を2010年度までに移転される事が決定ていたが、2008年後半からの世界的不況による半導体不振の影響から当面の間延期することが発表されている。一方で韮崎市の施設の一部がシャープとの合弁会社である「東京エレクトロンPV」の拠点として使用されることが発表されている。
半導体とは、電気を通しやすい「導体」と、電気を通しにくい「絶縁体」との中間の性質を持つ物質のことである。 半導体製品の多くが、イレブンナイン(純度99.999999999%)と呼ばれる非常に高純度に精製されたシリコン(珪素)を使用している。
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